Silicon Anodization as a Structuring Technique - Ivanov - 图书 - Springer - 9783658192372 - 2017年9月22日
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Ivanov
Silicon Anodization as a Structuring Technique 1st ed. 2018 edition

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Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime.

316 pages, 3 Tables, color; 3 Illustrations, color; 138 Illustrations, black and white; XXIX, 316 p.

介质类型 图书     Book
已发行 2017年9月22日
ISBN13 9783658192372
出版商 Springer
页数 316
商品尺寸 150 × 220 × 20 mm   ·   451 g
语言 德语  

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