Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators - Microsystems - Gerhard Lammel - 图书 - Springer - 9780792376552 - 2002年1月31日
如封面与标题不符，以标题为准

Gerhard Lammel
Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators - Microsystems 2002 edition

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Shows how to design and fabricate optical microsystems using technologies and original architectures. This work explains a barcode scanner, laser projection mirror and a microspectrometer, starting from the system conception, discussing simulations, choice of cleanroom technologies, design, fabrication, and device test to the system assembly.

268 pages, biography

介质类型 图书     Hardcover Book   (精装硬皮书)
已发行 2002年1月31日
ISBN13 9780792376552
出版商 Springer
页数 268
商品尺寸 156 × 234 × 17 mm   ·   576 g
语言 英语  

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