Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070 - MRS Proceedings - B J Pawlak - 图书 - Cambridge University Press - 9781107408548 - 2014年6月5日
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Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070 - MRS Proceedings

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The volume focuses on many aspects related to doping of semiconductors (Si, SiGe and Ge) for device fabrication, and explores areas for single-gate as well as multi-gate devices with planar and vertical architectures. Surface properties, coverage, bonding saturation and passivation, and annealing ambient are also discussed.


336 pages, black & white illustrations

介质类型 图书     Paperback Book   (平装胶订图书)
已发行 2014年6月5日
ISBN13 9781107408548
出版商 Cambridge University Press
页数 336
商品尺寸 152 × 229 × 18 mm   ·   533 g   (预估重量)
语言 英语  
编辑 Law, M. (University of Florida)
编辑 Pawlak, B. J.
编辑 Pelaz, M. L. (Universidad de Valladolid, Spain)
编辑 Surugo, K.

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