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Microlithography: Science and Technology Bruce W. Smith 第3 版本
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Microlithography: Science and Technology
Bruce W. Smith
Like the bestselling original, this third edition of Microlithography is a self-contained text detailing both elementary and advanced aspects of submicron microlithography, offering a balanced treatment of theoretical and operating practices.
900 pages, 570 black & white illustrations, 40 black & white tables
| 介质类型 | 图书 Hardcover Book (精装硬皮书) |
| 已发行 | 2020年5月20日 |
| ISBN13 | 9781439876756 |
| 出版商 | Taylor & Francis Inc |
| 页数 | 838 |
| 商品尺寸 | 150 × 220 × 20 mm · 1,62 kg |
| 语言 | 英语 |
| 编辑 | Smith, Bruce W. |
| 编辑 | Suzuki, Kazuaki |
