Plasma Charging Damage - Kin P. Cheung - 图书 - Springer London Ltd - 9781447110620 - 2012年8月30日
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Plasma Charging Damage Softcover reprint of the original 1st ed. 2001 edition

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In the 50 years since the invention of transistor, silicon integrated circuit (IC) technology has made astonishing advances. In state of the art silicon Ie manufacturing process, plasma is used in more than 20 different critical steps.


364 pages, biography

介质类型 图书     Paperback Book   (平装胶订图书)
已发行 2012年8月30日
ISBN13 9781447110620
出版商 Springer London Ltd
页数 346
商品尺寸 157 × 234 × 19 mm   ·   522 g
语言 英语  

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