Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials - Microdevices - Wayne M. Moreau - 图书 - Springer-Verlag New York Inc. - 9781461282280 - 2012年2月22日
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Wayne M. Moreau
Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials - Microdevices Softcover reprint of the original 1st ed. 1988 edition

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In fabricating a semiconductor device such as a transistor, a series of hot processes consisting of vacuum film deposition, oxidations, and dopant implantation are all patterned into microscopic circuits by the wet processes of lithography.

952 pages, black & white illustrations

介质类型 图书     Paperback Book   (平装胶订图书)
已发行 2012年2月22日
ISBN13 9781461282280
出版商 Springer-Verlag New York Inc.
页数 952
商品尺寸 170 × 244 × 48 mm   ·   1,48 kg
语言 英语  

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