Process Variations in Microsystems Manufacturing - Microsystems and Nanosystems - Michael Huff - 图书 - Springer Nature Switzerland AG - 9783030405588 - 2020年4月10日
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Process Variations in Microsystems Manufacturing - Microsystems and Nanosystems 2020 edition

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This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps.


521 pages, 24 Illustrations, color; 212 Illustrations, black and white; XIX, 521 p. 236 illus., 24 i

介质类型 图书     Hardcover Book   (精装硬皮书)
已发行 2020年4月10日
ISBN13 9783030405588
出版商 Springer Nature Switzerland AG
页数 521
商品尺寸 150 × 220 × 20 mm   ·   934 g
语言 德语  

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