Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology - Thorsten Lill - 图书 - Wiley-VCH Verlag GmbH - 9783527346684 - 2021年4月21日
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Thorsten Lill
Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology

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325 pages

介质类型 图书     Paperback Book   (平装胶订图书)
已发行 2021年4月21日
ISBN13 9783527346684
出版商 Wiley-VCH Verlag GmbH
页数 304
商品尺寸 245 × 171 × 18 mm   ·   584 g
语言 英语  

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