Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques - R J Shul - 图书 - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540667728 - 2000年8月28日
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R J Shul
Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques

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The ability to make small features in Si, metals, dielectrics and other materials has enabled rapid advances in computing and all other technologies that depend on microelectronics, miniature sensors and actuators and magnetic data storage. This work looks at plasma techniques, which enable the fine control and accurate pattern transfer.

655 pages, 141 black & white illustrations, 10 colour illustrations, biography

介质类型 图书     Hardcover Book   (精装硬皮书)
已发行 2000年8月28日
ISBN13 9783540667728
出版商 Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
页数 655
商品尺寸 166 × 244 × 49 mm   ·   1,05 kg
语言 德语  
编辑 Pearton, S. J.
编辑 Shul, R. J.

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