Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems - Francis E H Tay - 图书 - Springer-Verlag New York Inc. - 9781441953032 - 2010年12月3日
如封面与标题不符，以标题为准

Francis E H Tay
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2002 edition

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Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.

328 pages, 176 black & white illustrations, biography

介质类型 图书     Paperback Book   (平装胶订图书)
已发行 2010年12月3日
ISBN13 9781441953032
出版商 Springer-Verlag New York Inc.
页数 299
商品尺寸 155 × 235 × 17 mm   ·   458 g
语言 英语  
编辑 Tay, Francis E. H.

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